Seminar Nr.: KAT-4200

Kathodenzerstäubung - Sputtering

Erfahren Sie mehr über

  • vielfältige industrielle Einsatzgebiete zur Schichtherstellung durch Kathodenzerstäubung (Sputtering)
  • Meilensteine der Magnetronzerstäubung aus 40 Jahren
  • Schichtabscheidung mit hochionisierten Plasmen
  • Neue Trends in der Weiterentwicklung von Sputterprozessen
  • Technik moderner Beschichtungsanlagen

Besichtigung des Fraunhofer-Institutes IST Braunschweig am ersten Tag von 15:45 bis 17:00 Uhr

 

Dieses Seminar ist Bestandteil der modularen Seminarreihe "Starke Produkte durch dünne Schichten - Innovationen mit Schichttechnologien". Nutzen Sie die vergünstigten Sonderkonditionen bei der Buchung mehrerer Module. Weitere Informationen erhalten Sie unter der Rubrik "Dokumente zur Veranstaltung".

Dokumente zur Veranstaltung

 Kathodenzerstaeubung_Sputtering_kat4200.pdf
 Modulare_Seminarreihe_OFL_06.pdf

Teilnehmerkreis

  • Geschäftsführer und Betriebleiter
  • Fach- und Führungskräfte aus den Bereichen Beschichtung, Maschinen- und Anlagenbau, Automobil- und Zuliefererindustrie
  • Ingenieure, Techniker, Physiker und Materialwissenschaftler aus Entwicklung, Konstuktion und Fertigung
  • Mitarbeiter aus der Qualitätssicherung

Fachliche Leitung

Prof. Dr. Günter Bräuer

Institutsleiter, Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

 

Nach Abschluss seines Physikstudiums an der Justus Liebig-Universität Gießen arbeitete Herr Prof. Dr. Bräuer als Physiker in der Entwicklung bei Leybold-Heraeus in Hanau. Danach war er von 1992 bis 1999 als Leiter der Dünnschichtentwicklung bei der Leybold Systems GmbH tätig. Neben seiner Tätigkeit als Institutsleiter des Fraunhofer IST unterrichtet er als Professor für Schicht- und Oberflächentechnik an der Technischen Universität Braunschweig. Seit 2003 leitet er zudem das Institut für Oberflächentechnik an der TU Braunschweig.

Ihre Referenten

Dr. Thomas Jung

Gruppenleiter, Fraunhofer-Institut IST, Braunschweig

Dr.  Andreas Pflug

Gruppenleiter, Fraunhofer-Institut IST, Braunschweig

Dr.  Ralf Bandorf

Gruppenleiter, Fraunhofer-Institut IST, Braunschweig

Dr. Michael Liehr

Technical Consultant, Büdingen

Partner

Galvanotechnik - Älteste Fachzeitschrift für die Praxis der OberflächenbehandlungInplas - Kompetenznetz Industrielle Plasma-OberflächentechnikVakuum in Forschung und Praxis

Programm

1. Tag, 09:00 bis 17:30 Uhr

1. Grundlagen der Kathodenzerstäubung

  • Plasmatechnische Grundlagen
  • Zerstäubungstheorie / Gesetzmäßigkeiten

Prof. Dr. Günter Bräuer

2. Magnetronzerstäubung

  • Die Magnetronkathode
  • Reaktive Sputterprozesse
  • Puls-Magnetron-Sputtern
  • Aktuelle Entwicklung

Prof. Dr. Günter Bräuer

3. Hohlkathodenentladungen

  • Grundlagen
  • Gasflusssputtern
  • Anwendungsbeispiele
  • Potenziale und Grenzen

Dr. Thomas Jung

Laborbesichtigung IST Braunschweig

  • Schichtanalytik und Schichtcharakterisierung
  • Transferzentrum tribologische Schichten
  • Großflächenbeschichtung und Präzisionsoptik
  • Gasfluss Sputterauflagen
  • Inline-Beschichtungen

Ab 18:30 Uhr erwartet Sie ­folgendes  Abendprogramm:

Erleben Sie eine Führung durch die historische Altstadt Braunschweigs mit anschließendem Erfahrungsaustausch zwischen den Teilnehmern und den Referenten bei einem gemeinsamen Abendessen.

2. Tag, 08:30 bis 14:30 Uhr

1. Simulation von Plasmaprozessen

Dr.  Andreas Pflug

2. HIPIMS

  • Was ist HIPIMS?
  • Generatoren und Prozesstechnologie
  • Schichteigenschaften
  • Anwendungsbeispiele

Dr.  Ralf Bandorf

3. Industrielle Anwendungen und Anlagentechnik

  • Architekturglas
  • Hartstoffschichten
  • Präzisionsoptik
  • Datenspeicher

Dr. Michael Liehr

4. Zusammenfassung, Ausblick, Trends

So urteilen die Teilnehmer

Teilnehmerurteil zu einer Veranstaltung aus dem Bereich Werkstoffe und Oberflächentechnik:

Fachlich hochwertige Vorträge, gute Diskussionen, hohe Themenvielfalt, sehr gute Organisation des kompletten Seminars, gute Möglichkeit, Kontakte zu knüpfen und sich Informationen aus anderen Bereichen einzuholen, gute Bewirtung

Michael Weiß, Werkzeugtechnologe, BMW AG, München, Juni 2011

Zimmerreservierung

Mövenpick Hotel Braunschweig

Telefon +49 531 48170
http://www.moevenpick-braunschweig.com

Hotel Deutsches Haus

Telefon +49 800 212 2114 7903
http://www.deutscheshaus24.de

oder

Tourist-Information Braunschweig
Telefon: +49 531 470 2040
http://www.braunschweig.de

Das Ambiente

Braunschweig – Willkommen in der Löwenstadt!
Lernen Sie diese historische Stadt kennen und genießen Sie die niedersächsische Gastlichkeit.

Veranstaltungen