Seminar Nr.: KAT-4200
Kathodenzerstäubung - Sputtering
Erfahren Sie mehr über
- vielfältige industrielle Einsatzgebiete zur Schichtherstellung durch Kathodenzerstäubung (Sputtering)
- Meilensteine der Magnetronzerstäubung aus 40 Jahren
- Schichtabscheidung mit hochionisierten Plasmen
- Neue Trends in der Weiterentwicklung von Sputterprozessen
- Technik moderner Beschichtungsanlagen
Besichtigung des Fraunhofer-Institutes IST Braunschweig am ersten Tag von 15:45 bis 17:00 Uhr
Dieses Seminar ist Bestandteil der modularen Seminarreihe "Starke Produkte durch dünne Schichten - Innovationen mit Schichttechnologien". Nutzen Sie die vergünstigten Sonderkonditionen bei der Buchung mehrerer Module. Weitere Informationen erhalten Sie unter der Rubrik "Dokumente zur Veranstaltung".
Dokumente zur Veranstaltung
Teilnehmerkreis
- Geschäftsführer und Betriebleiter
- Fach- und Führungskräfte aus den Bereichen Beschichtung, Maschinen- und Anlagenbau, Automobil- und Zuliefererindustrie
- Ingenieure, Techniker, Physiker und Materialwissenschaftler aus Entwicklung, Konstuktion und Fertigung
- Mitarbeiter aus der Qualitätssicherung
Fachliche Leitung
Prof. Dr. Günter Bräuer
Institutsleiter, Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig
Nach Abschluss seines Physikstudiums an der Justus Liebig-Universität Gießen arbeitete Herr Prof. Dr. Bräuer als Physiker in der Entwicklung bei Leybold-Heraeus in Hanau. Danach war er von 1992 bis 1999 als Leiter der Dünnschichtentwicklung bei der Leybold Systems GmbH tätig. Neben seiner Tätigkeit als Institutsleiter des Fraunhofer IST unterrichtet er als Professor für Schicht- und Oberflächentechnik an der Technischen Universität Braunschweig. Seit 2003 leitet er zudem das Institut für Oberflächentechnik an der TU Braunschweig.
Ihre Referenten
Dr. Thomas Jung
Gruppenleiter, Fraunhofer-Institut IST, Braunschweig
Dr. Andreas Pflug
Gruppenleiter, Fraunhofer-Institut IST, Braunschweig
Dr. Ralf Bandorf
Gruppenleiter, Fraunhofer-Institut IST, Braunschweig
Dr. Michael Liehr
Technical Consultant, Büdingen
Programm
1. Tag, 09:00 bis 17:30 Uhr
1. Grundlagen der Kathodenzerstäubung
- Plasmatechnische Grundlagen
- Zerstäubungstheorie / Gesetzmäßigkeiten
Prof. Dr. Günter Bräuer
2. Magnetronzerstäubung
- Die Magnetronkathode
- Reaktive Sputterprozesse
- Puls-Magnetron-Sputtern
- Aktuelle Entwicklung
Prof. Dr. Günter Bräuer
3. Hohlkathodenentladungen
- Grundlagen
- Gasflusssputtern
- Anwendungsbeispiele
- Potenziale und Grenzen
Dr. Thomas Jung
Laborbesichtigung IST Braunschweig
- Schichtanalytik und Schichtcharakterisierung
- Transferzentrum tribologische Schichten
- Großflächenbeschichtung und Präzisionsoptik
- Gasfluss Sputterauflagen
- Inline-Beschichtungen
Ab 18:30 Uhr erwartet Sie folgendes Abendprogramm:
Erleben Sie eine Führung durch die historische Altstadt Braunschweigs mit anschließendem Erfahrungsaustausch zwischen den Teilnehmern und den Referenten bei einem gemeinsamen Abendessen.
2. Tag, 08:30 bis 14:30 Uhr
1. Simulation von Plasmaprozessen
Dr. Andreas Pflug
2. HIPIMS
- Was ist HIPIMS?
- Generatoren und Prozesstechnologie
- Schichteigenschaften
- Anwendungsbeispiele
Dr. Ralf Bandorf
3. Industrielle Anwendungen und Anlagentechnik
- Architekturglas
- Hartstoffschichten
- Präzisionsoptik
- Datenspeicher
Dr. Michael Liehr
4. Zusammenfassung, Ausblick, Trends
So urteilen die Teilnehmer
Teilnehmerurteil zu einer Veranstaltung aus dem Bereich Werkstoffe und Oberflächentechnik:
Fachlich hochwertige Vorträge, gute Diskussionen, hohe Themenvielfalt, sehr gute Organisation des kompletten Seminars, gute Möglichkeit, Kontakte zu knüpfen und sich Informationen aus anderen Bereichen einzuholen, gute Bewirtung
Michael Weiß, Werkzeugtechnologe, BMW AG, München, Juni 2011
Zimmerreservierung
Mövenpick Hotel Braunschweig
Telefon +49 531 48170
http://www.moevenpick-braunschweig.com
Hotel Deutsches Haus
Telefon +49 800 212 2114 7903
http://www.deutscheshaus24.de
oder
Tourist-Information Braunschweig
Telefon: +49 531 470 2040
http://www.braunschweig.de
Das Ambiente
Braunschweig – Willkommen in der Löwenstadt!
Lernen Sie diese historische Stadt kennen und genießen Sie die niedersächsische Gastlichkeit.

