Seminar Nr.: KAT-5188

Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte

Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte

Sie erhalten Informationen aus erster Hand zu

  • Industriellen Einsatzgebieten zur Schichtherstellung durch Kathodenzerstäubung (Sputtering)
  • der Sputtertechnik für Optische Systeme
  • der Simulation von Plasmaprozessen
  • der Schichtabscheidung mit hochionisierten Plasmen
  • Neuen Trends in der Weiterentwicklung von Sputterprozessen
  • Technik und industriellen Beispielen moderner Beschichtungsanlagen

Sie haben die Gelegenheit die Labore des Fraunhofer IST zu besichtigen!

Dokumente zur Veranstaltung

 Kathodenzerstäubung_kat5188.pdf

Teilnehmerkreis

Geschäftsführer, Betriebs- und Produktionsleiter sowie Fach- und Führungskräfte aus dem Bereich Beschichtung der  Optischen Industrie, dem Maschinen- und Anlagenbau und der Automobil- und Zulieferer­industrie

Materialwissenschaftler, Physiker, Ingenieure und Techniker aus Entwicklung, Konstruktion, Fertigung und Qualitätssicherung 

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Fachliche Leitung

Prof. Dr. Günter Bräuer   

Institutsleiter, Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Nach Abschluss seines Physikstudiums an der Justus Liebig-Universität Gießen arbeitete Herr Prof. Dr. Bräuer als Physiker in der Entwicklung bei Leybold-Heraeus in Hanau. Danach war er von 1992 bis 1999 als Leiter der Dünnschichtentwicklung bei der Leybold Systems GmbH tätig. Neben seiner Tätigkeit als Institutsleiter des Fraunhofer IST unterrichtet er als Professor für Schicht- und Oberflächentechnik an der Technischen Universität Braunschweig. Seit 2003 leitet er zudem das Institut für Oberflächentechnik an der TU Braunschweig.

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Ihre Referenten

Dr. Ralf Bandorf

Gruppenleiter Hochionisierte Plasmen und PECVD, Fraunhofer-­Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Professor Dr. Günter Bräuer

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Institutsleiter, Braunschweig

Dr. Martin Keunecke

Abteilungsleiter Zentrum für Tribologie, Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Prof. Dr. Jörg Krempel-Hesse

Physik und Vakuumtechnik, Technische Hochschule Mittelhessen, Gießen

 

Dr. Michael Liehr

W&L Coating Systems GmbH, Reichelsheim

Dr. Andreas Pflug

Gruppenleiter Simulation, Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Dr. Michael Vergöhl

Abteilungsleiter Niederdruckplasmaverfahren, Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig, Sprecher der Fraunhofer Allianz Photokatalyse

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Programm

Tag 1, 09:00 bis 17:45 Uhr

1.    Grundlagen der Kathodenzerstäubung

Plasmatechnische Grundlagen, Zerstäubungstheorie/Gesetzmäßigkeiten

Prof. Dr. Günter Bräuer

2.    Magnetronzerstäubung

Die Magnetronkathode, Reaktive Sputterprozesse, Puls-Magnetron-Sputtern, Aktuelle Entwicklungen

Prof. Dr. Günter Bräuer

3.    Tribologische Beschichtungen für Werkzeuge und Bauteile

Rezepte gegen Reibung und Verschleiß – Die Schichtfamilien und ihre Eigenschaften, Nitride und Karbide, Kohlenstoffbasierte Schichten, c-BN – Entwicklungsstand und Herausforderungen, Anlagentechnik und Verfahren

Dr. Martin Keunecke

4.    Beispiele für industrielle Beschichtungsanlagen

Batch-Anlagen, Kurztaktanlagen, Durchlaufanlagen, Anlagen für Polymerfolien und metallische Bänder

Prof. Dr. Jörg Krempel-Hesse

5.    Allgemeine Informationen zum IST und den Laboren

Prof. Dr. Günter Bräuer

6.    Besichtigung der Labore des Fraunhofer-Instituts IST in Gruppen

  • Schichtanalytik und Schichtcharakterisierung
  • Zentrum für Tribologie
  • Großflächenbeschichtung und Präzisionsoptik
  • Gasfluss Sputteranlagen
  • Inline-Beschichtungen

 

Abendprogramm ab 19:00 Uhr:  

  • Erfahrungsaustausch der Teilnehmer und Referenten bei einem ­gemeinsamen Abendessen im Restaurant „Zur Rheinischen Rpublik“

 

Tag 2, 08:30 bis 13:30 Uhr

7.    HIPIMS

Was ist HIPIMS?, Generatoren und Prozesstechnologie, Schicht­eigenschaften, Anwendungsbeispiele

Dr. Ralf Bandorf

8.    Sputtertechnik für optische Schichten

Von kratzfest bis ultrapräzise: Anforderungen an optische Schichten, Varianten von Magnetron-Sputterprozessen, Zusammenhänge zwischen Schichteigenschaften und Plasmaparametern, Anlagenkonzepte, Aktuelle Entwicklungsbeispiele

Dr. Michael Vergöhl

9.    Simulation von Plasmaprozessen

Dr. Andreas Pflug

10.    Industrielle Anwendungen der Magnetronzerstäubung

Architekturglas, Optik und Großflächen­elektronik, Datenspeicher

Dr. Michael Liehr

11.    Zusammenfassung und Ausblick/Diskussion

Prof. Dr. Günter Bräuer

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Partner

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik ISTGalvanotechnik - Älteste Fachzeitschrift für die Praxis der OberflächenbehandlungInplas - Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik

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Das sagen die Teilnehmer

Wieder einmal ein interessantes OTTI-Seminar mit einer guten Auswahl an Referenten und einer guten Mischung an Teilnehmern. Der Besuch im IST Braunschweig rundet die Theorie ab und beim gemeinsamen Abendessen werden letzte Fragen geklärt.

M. SC. Tibor Giesen, Auer Lighting GmbH, Bad Gandersheim

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Zimmerreservierung

 

Zimmerkontingente bis vier ­Wochen vor Veranstaltung

Hotel Deutsches Haus

Telefon +49 531 6058
www.deutscheshaus24.de/

Frühlingshotel

Telefon +49 531 243 210
www.fruehlingshotel.de

 

oder

Touristinformation Braunschweig

Telefon +49 531 470-1

www.braunschweig.de

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Themenverwandte Veranstaltungen

Anwenderforum " Praxisnahe Vakuum- und Dünnschichttechnologien für Techniker" am 1. und 2. Februar 2017 in Regensburg

http://www.otti.de/veranstaltung/id/praxisnahe-vakuum-und-duennschichttechnologien-fuer-techniker.html

http://www.otti.de/pdf/Vakuum_und_Duennschichttechnologien_vud5133.pdf

 

 

 

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